扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。其分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到150万倍；并且景深大，视野大，成像立体效果好。此外，扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合，可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。
2.高分辨X射线衍射仪
高分辨X射线衍射仪是通过PC机控制随机微处理器的X射线发生器。特征X射线及其衍射X射线（波长0.06-20nm）能穿透一定厚度的物质，并能使荧光物质发光、照相机乳胶感光、气体电离。当某物质（晶体或非晶体）进行衍射分析时，该物质被X射线照射产生不同程度的衍射现象，物质组成、晶型、分子内成键方式、分子的构型、构象等决定该物质产生特有的衍射图谱。基于此原理，对检测物质进行组成成分分析和确定各组成相的含量。
